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SMU模块解决了低电流、高电容的棘手测试挑战

时间:2019-11-13 来源: 关键字:吉时利 SMU   

Keithley 4200A-SCS参数分析仪推出两款最新源测量单元(SMU)模块,即使在由于长电缆和复杂的测试设置而产生高负载电容时,其仍能执行低电流测量。许多主要测试应用都面临着这一挑战,如LCD显示器制造和卡盘上的纳米FET器件测试。

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在被测器件本身电容很小的情况下,许多低电流测量应用中所需要的测试设置也会增加SMU输出端的电容。当测试连接电容太大时,最终的低电流测量结果可能会变得不稳定。为解决这些挑战,新模块在提供电压和测量电流时,支持的电缆长度和连接电容都要超过传统SMU。

最新4201-SMU和4211-SMU是为采用长电缆、开关矩阵、通过栅极接触卡盘及其他夹具的测试装置专门设计的。这就让研究人员和制造测试工程师节省了大量的时间和成本,而这些时间和成本本来可以花费在故障排除和重新配置测试设置上。

“因为要降低电流来节省能耗,精细测试装置所产生的高负载电容正成为一个日益严重的问题。在测试智能手机或平板电脑采用的大型LCD面板时,就面临着同样的问题。”泰克科技公司吉时利系统和软件总经理Peter Griffiths说,“我们的新模块特别擅长进行稳定的低电流测量,并将立即使我们的许多现有和未来的客户受益。”

在最低电流测量范围内,4201-SMU和4211-SMU可以提供和测量的系统电容要比当前水平高出1,000倍。例如,如果电流在1 ~ 100 pA (皮安)之间,那么最新吉时利模块可以在低达1 µF (微法拉)的负载电容下保持稳定。相比之下,同类产品最多只能容忍1,000 pF (皮法)的负载电容,之后测量稳定性就会劣化,这要比最新吉时利模块差1,000倍。

4201-SMU和4211-SMU在订货时可以预先配置一个4200A-SCS,构成全面的参数分析解决方案;也可以现场轻松升级现有的设备,不需把设备发送到服务中心,可望节省几周的中断时间。

关于4200A-SCS

4200A-SCS是一种可以量身定制的全集成参数分析仪,可以同步查看电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)和超快速脉冲式I-V特点,加快半导体、材料和工艺开发和制造过程。每台4200A-SCS可以配置最多9个SMU。该系统的Clarius软件用户界面拥有触控和滑动或点击控制功能,支持在现代半导体、材料和工艺表征中进行高级测试定义、参数分析、图表绘制和自动化。

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